Tuotteiden kuvaus
Itsensä kohdennusmenetelmä Piilata metalli 553 iS, jota käytettiin porttirakenteen ja lähde-/tyhjennysalueen muodostamiseen substraatissa peräkkäin. Sen jälkeen ionin implantointivaihe suoritetaan metalli -ionien implanttia varten portin rakenteen pinnalle ja lähde-/tyhjennysalueen pinnalle. Sitten suoritetaan kaksi lämpökäsittelyprosessia metalli -ionien ja piin piin poistamiseksi portin rakenteen pinnalla ja lähteen/tyhjennysalueen pinnalla ja muodostavat erittäin johtavan metallisen silisoidekerroksen portin rakenteen pinnalle ja Lähde-/tyhjennysalueen pinta. Niistä metalli -ionit voivat olla koboltti, titaani, nikkeli, platina tai palladium.
Tuoteparametrit
|
Luokka |
Kemiallinen koostumus % | |||
| SI -pitoisuus (%) | Epäpuhtaudet (%) | |||
| Fe | AL -AL | Ca | ||
| Piilääke 553 | 98.7 | 0.5 | 0.5 | 0.3 |
Tuotteiden yhteistyökuva
1.Menetelmä boorin poistamiseksiPiilata metalli 553Siirtoladle. Se käsittää: Ensinnäkin upotetun uunin vähentynyt nestemäinen piidatametalli siirretään siirtokaulaan; Sitten esilämmitetty sekoitettu kaasu puhalletaan nestemäiseen piimetalliin siirtokaulan pohjasta, ja sekoitettu kaasu koostuu voimakkaasta hapesta, vesihöyrystä, argonista; Täydellisen reaktion ja epäpuhtauksien poistamisen jälkeen nestemäinen piitimetalli virtaa siirtokaulan pohjasta ulos ja heitetään saamaan voimakkaan piin metallin. Esillä oleva keksintö puhaltaa siirtokaulan pohjasta kovaa happea, vesihöyryä ja argonia kaasua silikonimetalliin sulan tilassa esilämmittämällä korkean puhtaan happea korkeassa lämpötilassa ja boorin ja fosforin poistamisen vaikutuksesta. Epäpuhtaudet ovat ilmeisiä, ja epäpuhtauksien toinen osa hapettuu kaasun tai kelluvan helpon play-aineen kuljettamisen helpottavan aineen tuottamiseksi nestemäisen piin metallin pinnalla, joten piidometallin epäpuhtaudet ovat merkittävästi pelkistetty. Verrattuna muihin boorinpoistomenetelmiin tällä tekniikalla on ilmeisiä taloudellisia etuja, jotka voivat vähentää huomattavasti energiankulutusta, lyhentää epäpuhtauksien poistoprosessia ja toteuttaa edullisen ja korkean varovaisen piitata metallin teollisuustuotannon.
Suositut Tagit: Korkean tason metalli pii metalli 553, Kiinan korkeatasoinen metalli pii metalli 553 Valmistajat, toimittajat, tehdas