Tuotteiden kuvaus
PiinitridiOhuilla kalvoilla on tiheä rakenne, korkea lujuus ja hyvä kulumiskestävyys, ja niitä voidaan käyttää MEMS -laitteiden rakennekomponentteina. Piilinitridikalvojen nuoren moduuli ja kovuus testattiin PECVD -menetelmällä, ja analysoitiin laskeutumislämpötilan ja reaktiokaasun virtaussuhteen vaikutuksia nuorten moduuliin ja kovuuteen. Piilinitridikalvoa käytettiin jousituspalkina RF -MEMS -kytkimien valmistukseen.
Tuoteparametrit
| Luokka | N | Si | Ca min | O min | C -min | Alin | Fe min |
| Si3n 485-99 | 32-39 | 55-60 | 0.25 | 1.5 | 0.3 | 0.25 | 0.25 |
Tuotteiden yhteistyökuva
1.PiinitridiKeramiikka on korkean lämpötilan ja erittäin luja rakenteellista keramiikkaa, jolla on laajat kehitysnäkymät. Siinä on korkea suorituskyky (kuten korkea lujuus, hyvä lämpöhakkin stabiilisuus, korkea väsymyslujuus, korkea taivutuslujuus huoneenlämpötilassa, kulutuskestävyys, hapettumiskestävyys, korroosionkestävyys jne.), Ja sitä on käytetty laajasti kaikilla elämänaloilla. Pii -nitridin valmistusmenetelmät sisältävät pääasiassa reaktion sintraus (RS), kuumapaineen sintraus (HPS), ilmakehän paineen sintraus (PLS) ja pneumaattinen paineen sintraus (GPS). Tällä hetkellä pääongelma on, että piinitridikeraamisten tuotteiden sitkeys ja korkeat kustannukset ovat alhaiset. Jatkossa on tarpeen parantaa jauhamis- ja sintrausprosesseja sekä piinitridin ja piiharbidin yhdistämistä paremman piinitridikeramiikan kehittämiseksi.
Suositut Tagit: Korkean tason metalli pii -nitridi, Kiinan korkeatasoinen metalli pii -nitridivalmistajat, toimittajat, tehdas